第 7 课：FAB 安全规范与 EPC/ESD 基础

第 7 课FAB 安全规范与 EPC/ESD 基础一、本课学习目标了解 FAB 现场安全基本规则不违规、不添乱理解 ESD 静电防护对机台与 EAP 工作的意义搞懂 EPC 基础概念知道 EAP 在其中的作用建立 “安全第一、联锁不能随便短接” 的职业意识二、FAB 通用安全规范EAP 进现场必懂洁净室与着装规范必须穿无尘衣、无尘鞋、无尘帽、口罩、手套禁止化妆、喷香水、带纸屑、手机不随意拿出不在机台旁吃喝、奔跑、敲击机柜安全门禁与区域机台区域分生产区、设备维护区、电气柜区非授权禁止打开电气柜、触碰接线端子黄光灯区光刻区禁止开白灯、禁止拍照化学品与特种风险FAB 常见风险强酸强碱、有毒气体、易燃易爆气体闻到异味、看到冒烟、漏液立刻撤离并通报EAP 只处理软件 / 通信绝不私自操作气路、药液、阀门高压、真空、高温安全机台真空腔、高温腔、高压电源区域禁止倚靠维护时必须确认泄压、降温、断电EAP 看到安全报警严禁强制绕过逻辑继续跑货EPO 紧急停止按钮EPO Emergency Power Off红色大按钮按下后机台立刻急停非紧急绝对不按误按会导致整台机 abort、wafer 报废三、ESD 静电防护基础非常重要什么是 ESDESDElectroStatic Discharge 静电放电人体静电几千伏肉眼看不见但能击穿传感器、电路板、控制器机台的通信板、I/O 板、传感器非常怕 ESDEAP 相关 ESD 要求接触机台控制器、网线、串口、模块前必须佩戴静电手环并接地插拔网线、重启工控机时避免触碰金属针脚禁止在机台旁快速脱穿衣服、摩擦产生静电ESD 对 EAP 工作的影响ESD 损坏后会出现通信莫名中断、I/O 乱跳、机台无故报警、网口损坏这类问题最难排查表现为间歇性、随机性故障四、Interlock 联锁安全逻辑Interlock 是什么机台的安全保护逻辑条件不满足就禁止动作例如安全门打开 → 禁止机械手动作真空未到 → 禁止启动工艺气压异常 → 禁止进片EAP 必须遵守的原则联锁是保护不是障碍绝对不能要求设备工程师短接联锁在软件里强制屏蔽联锁信号联锁未解除强行下发 Run 命令EAP 与联锁的关系EAP 只读取联锁状态不直接控制联锁状态为 “联锁触发” 时EAP 应自动拒绝任务、上报报警五、EPC 基础概念EAP 必知EPC 是什么EPCEngineering Process Control 工程过程控制简单理解对机台加工过程进行监控、约束、防错EPC 的核心目的防止参数超范围防止跑错 Recipe防止在异常状态下继续加工避免 wafer 批量报废EAP 在 EPC 里的角色接收并校验 Recipe 参数监测机台状态是否满足加工条件异常时阻止启动、终止 Run、上传报警把关键数据上传给系统做判断六、本课必须记住的 3 条铁律进机台旁先做 ESD 防护不碰急停按钮不短接联锁。联锁报警优先处理EAP 不能强制绕过安全逻辑。EAP 是自动化控制也是安全守门员异常先停再查。七、课后小作业写出 ESD、EPC、EPO 的中文全称说出 2 条进入 FAB 机台区域的安全要求说明 EAP 为什么不能随便屏蔽联锁信号