F-Theta扫描透镜的性能评估

张开发
• 2026/4/10 1:25:09 • 15 分钟阅读

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F-Theta扫描透镜的性能评估
摘要F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而不存在完美的F-Theta系统因此在任何给定的系统中偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差分析了给定F-Theta透镜的性能。建模任务系统构建块-扫描源How to Set Up a Scanning Source系统构建块-透镜系统组件系统构建块-参数耦合Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion系统构建块-失真分析仪实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。虽然实际焦点点位置将由模拟计算但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。通用探测器和探测器附加组件Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即它们可以嵌套);在我们的例子中我们使用场数据来计算辐射能密度然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见:Universal Detector总结-组件…系统观感通过系统:三维可视化不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外可以检查场的轨迹以便将探测器放置在正确的位置。性能评估-点位偏差性能评估-光斑直径测量此外该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如对光斑大小的检查显示对于更高的输入角度单个焦点变得越来越椭圆形。VirtualLab Fusion技术文件信息进一步阅读• Performance Analysis of Laser Scanning System• How to Set Up a Scanning Source• Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion• 3D Visualization of the Optical System• Universal Detector

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